Hochpräzise Formen für die Replikation strukturierter optischer Elemente wie Fresnel-Linsen oder Prismenarrays werden durch Diamantbearbeitung oder Präzisionsschleifen erzeugt. In manchen Fällen reicht die Oberflächenqualität der nachgebildeten Bauteile nicht aus, um die steigenden Anforderungen an Oberflächenrauigkeit und Formgenauigkeit für optische Anwendungen zu erfüllen. Daher kann ein nachträgliches Polieren der Strukturen erforderlich sein. Innerhalb dieser Arbeit wurden strukturierte Formen durch ein neu entwickeltes abrasives Polierverfahren, durch Laserpolieren und durch abrasives Fließbearbeiten fertiggestellt. Dieser Beitrag konzentriert sich auf die Materialabtragungsmechanismen und die erreichbare Oberflächenqualität beim abrasiven Polieren. Die Oberflächenqualität wird mit derjenigen verglichen, die durch Laserpolieren und Schleifflussbearbeitung erzielt wird.